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连词，表示达到某种程度。
《势篇》：“激水之疾，至于漂石者，势也；鸷鸟之疾，至于毁折者，节也。”《虚实篇》：“微乎微乎，至于无形；神乎神乎，至于无声，故能为敌之司命。”“形兵之极，至于无形。”
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