在真空中加热比在盐浴和气氛中慢．一般真空加热的时间为盐浴的6倍．在周期式炉中，零件的温度滞后于仪表指示的炉温．工件尺寸越大，工件温度滞后于炉温的现象越严重．为此必须预先测出滞后的时间数据，否则就不能得到正确的加热温度和保持时间．把这个滞后时间和加热时间相加，才能得到所需的保持时间．一定尺寸和一定装炉量的钢件进行真空加热时，在升温过程中往往要设置两个以上的均温台阶．
此外，由于真空加热主要依靠辐射，面对发热体的被处理件部分容易受热，升温速度相对要快，所以工件在料盘上的放置间隔和排列方式是一个值得考虑的问题．
金属制品在真空中加热后要以适当的速度冷却才能达到所要求的热处理质量．由于在高真空下工件的冷却速度极慢，而且冷却不会均匀，也难以达到热处理效果，且很不经济，故真空加热后，工件的冷却仍需在气体或液体介质中进行．