离子溅射器

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利用溅射原理设计的金属喷镀仪器。

是电镜观察制样喷镀和复型技术的工具。由电极、样品台、真空系统和产生高压的电器系统组成。喷镀是在低真空下两电极之间的气体电离产生的阳离子，轰击作为负电极的金属靶(金、金－钯、铂)，使金属原子溅射，在电场的加速下飞向阳极，途中与气体分子不断碰撞而改变方向，使金属原子以漫射的方式沉积于放在阳极上的样品表面，因而得到很均匀的连续的金属层。

喷镀效果比真空镀膜好。