| 字词 | T005862 大规模集成电路新进展 |
| 类别 | 中英文字词句释义及详细解析 |
| 释义 | T005862 大规模集成电路新进展 上海市电子学会编。 上海科学技术文献出版社1981年2月版。19万字。收译文17篇。第一篇至第八篇及第十七篇是有关存贮器、微处理机、模拟集成电路及大规模集成电路新结构方面进展的文章。第九篇至第十六篇是集成电路制作工艺方面的文章，包括激光退火、X射线光刻、等离子体腐蚀、离子磨削等。 |
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