①加工对象为各种硬脆材料，如玻璃、陶瓷、人造宝石、半导体等材料，尤其是电加工难以加工的材料．其原因是其加工是靠磨料及液体分子的不断冲击、空化作用．
②加工精度高．尺寸精度可达0．01～0．02mm，表面粗糙度Ra可达0．63～0．08μm，被加工面也无组织改变，无残余应力，其原因是其加工靠微小磨料作用．
③工件在加工过程中受力小．这是因为在加工过程中，磨料运动方向与加工表面垂直且与切入方向一致，工件仅受磨料瞬时局部冲击力，不存在横向摩擦之故．因此，对于加工薄壁、窄缝及低刚度工件是有利的．
④可加工出复杂型腔及型面．其原因是工具可用较软材料制作，故易于制出复杂形状之工具．基于此，决定了超声加工机床结构简单，易于维护．
⑤与电解加工、电火花加工比较，超声波加工效率较低．