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字词 半导体晶片用保护膜
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义

半导体晶片用保护膜


半导体晶片用的保护膜包括基膜、粘结剂层和顶部膜(分隔膜),其表面粗糙度不大于2mm。

例如,将聚丙烯薄膜(含0.1%芥酸酰胺作为润滑剂,其中芥酸为顺式二十二(碳)(-13-)酸;芥酸酰胺即CH3(CH2)7CH=CH(CH2)11CONH2)与涂有1μm丙烯酸粘结剂的乙烯-醋酸乙烯共聚物层压粘合可得到这种层压保护薄膜。

将此层压薄膜中的聚丙烯薄膜剥下,把乙烯-醋酸乙烯共聚物薄膜粘合在半导体晶片上,经24小时后再剥下乙烯-醋酸乙烯共聚物薄膜,由此证实本薄膜可对半导体晶片有良好的防尘作用和保护作用。

(国际专利:91-02377)

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