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光学仪器所用的棱镜或透镜具有与理想几何形状极接近的形状，两者之差值应以波长为单位，这样高精度的表面只有用光的干涉方法才能检查。检查平面或球面时，须在被检查的表面上放一个有同一油率半径的“玻璃样板”(此样板的几何形状完善且其油率半径的精确值为已知)，这样会在样板与被检查表面之间形成一个空气薄层，当以一单色光照明此空气薄层时，就产生干涉，从干涉条纹的情况判断被检测表面的情况
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