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字词 T005831 气相光刻技术
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义 T005831 气相光刻技术

韩阶平等著。

海洋出版社1990年3月版。10万字。分5部分:一、气相法加工SiO2图形;二、金属膜的气相腐蚀工艺;三、无显影气相光刻技术,不同光源和不同抗蚀剂的无显影光刻特性及原理;四、利用各种粒子对SiO2表面改性进行图形加工的方法;五、新型光刻胶及无显影光刻催化剂。

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