T005786　半导体测试技术

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孙以材编著。

冶金工业出版社1984年10月版。76．1万字。

共10章。内容包括半导体材料的导电型号、电阻率、少子寿命、晶体原生缺陷以及外延片等的常规测试技术；与霍尔效应、红外光吸收有关的测试方法和原理；X射线形貌和电子衍射、衍衬像理论和应用，近几年发展的C-V测试瞬态电容技术；半导体超纯领域中应用的几种重要痕量分析方法。

书中涉及的测试项目和方法，大多是参照中国国家标准编写的，但也涉及美国材料试验协会(ASTM)标准。有3个附录。