T000518　真空技术及设备

---

刘作桐主编。

东南大学出版社1991年5月版。30．0万字。

电子工业部“七五”规划统编教材。分7章，分别介绍真空技术的物理基础；各种真空获得设备；真空测量方法和各种真空计；组成真空系统的其它元件及各种真空连接；真空系统的设计、计算及真空中常用材料；真空检漏方法；典型真空设备的组成与结构。除介绍真空技术一些基本理论外，重点介绍各种真空设备的特点、结构及设计。在低温泵制冷获取超高真空、四极质谱仪测量分压强和电子束蒸发镀膜等方面反映了当代科技新成果。