超高真空技术
获取和利用超高真空的技术。 超高真空指真空度为10-7~10-11乇的真空。超高真空可为新材料、新器件的研制提供洁静的环境;可模拟外层空间的环境,为太空技术的地面研究提供条件,还可为各种电子器件的正常工作提供保证。 超高真空技术对加速器的研制也起著关键作用。 高能粒子加速器的粒子环形轨道内必须是超高真空。 超高真空技术是各类尖端科技的最基础技术。特别是在先进的新材料研制技术中,高真空(10-2~10-6乇)和超高真空技术的应用相当广泛,尤其引人注目。 例如,真空气相沉积、真空冷冻干燥、真空冶金、分子外延生长等技术都是真空技术的应用。 |