电液步进马达和电液步进缸概述

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电液步进马达和电液步进缸都属于增量式数字控制的电液伺服机构。其基本的工作原理是：由步进电机和控制阀接受数字控制电路输出的脉冲序列信号，进行信号的转换与功率放大，驱动液压马达或液压缸，输出功率。电液步进马达的输出为与输入脉冲数成比例的角位移，或与脉冲输入频率成比例的角速度，电液步进缸的输出则为直线位移和速度。(关于增量式数字控制可参阅本手册22．1．3)

电液步进马达出现于50年代，发展于60年代，曾广泛应用于数字控制机床和其他开环数字程序控制系统。电液步进缸出现于70年代，在短行程的直线运动数控系统中，具有显著的优点。