微波集成电路

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工作在1吉赫以上的微波波段的集成电路。

它可分为两类：
❶ “半集成”，它只将微波电路中的线性元件和传输线一起集成化，而其中的有源非线性元件组仍采用分立元件，并另行嵌入电路中，所以又称为“嵌入式”。这类半集成电路的基片材料采用高纯氧化铝瓷片、石英或蓝宝石等低损耗电介质，或为了便于制成非互易元件而采用铁氧体片。

❷ “全集成”，它的全部元件包括有源非线性元件在内全都是集成化的，其基片材料常采用高纯硅单晶片或砷化镓单晶片，所以它的固体微波元件和器件也是用集成电路法做在基片上。目前普遍应用的主要是半集成微波电路。微波集成电路与由分立微波元件构成的微波电路相比较，具有体积小、重量轻、适宜于大批量生产、成本低等优点。