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精密测量工具如块规、角尺、直尺、样板和千分尺砧座都要求尺寸特别稳定。尺寸的变化由两种主要原因造成：由于使用中磨损或由于残留奥氏体的转换使尺寸变化。O2工具钢对减少这两种影响，效果显著。在石墨的O6类材料中，游离碳的存在对提高尺寸的稳定性十分有效。O2和O6两种钢经多次冷处理，然后再回火，对转换或稳定剩留奥氏体是十分有益的。
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