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字词 薄膜科学与技术手册
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义
薄膜科学与技术手册

薄膜科学与技术手册

田民波等编译,机械工业出版社出版。16开。上册1991年3月出版,787页;下册1991年5月出版,996页。本书上册介绍薄膜及其特征,薄膜的电磁学、光学、机械、化学等性质,薄膜制备工艺,薄膜性能检测等。下册介绍薄膜技术在信息及计算机、半导体、电子、光学、传感器、计量等产业部门的应用。

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