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字词 真空技术
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释义

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真空技术

基本实验技术之一。主要包括:1.真空的获得(应用各种真空泵);2.真空的测量(应用最广泛的是各种电离真空计);3.残余气体的分析(常用质普仪)3个部分。真空技术在近代尖端科学技术,如大规模集成电路、高能粒子加速器、表面科学、空间技术等方面都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用。

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