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字词 氮化铝压电薄膜
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义

氮化铝压电薄膜

电子科技大学曲喜新等完成。在国内首创采用自制的直流磁控溅射设备,制得优质的氮化铝压电薄膜。薄膜表面光滑,内部致密,无色透明,附着牢,内应力小,微晶取向优良,具有好的介电性能和压电性能,且工艺稳定,重复性好。这种薄膜材料具有高声速、低色散等特点,广泛应用于各种表声波和体声波器材,特别适用于制作微声器件,为发展中国的超高频压电器件打下了良好的基础。获1988年机电部科技进步一等奖。

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