T005805　力学量敏感器件及其应用

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牛德芳等编著。

科学出版社1987年8月版。24．8万字。共11章，分5个部分，内容包括：与力学量敏感器件有关的物理、力学基础理论知识；力学量敏感器件的设计方法、工艺参数选择、硅弹性模片制作；器件的标定和温度补偿，以及器件制作过程中的特殊工艺；以比较先进的典型产品为例，简明介绍力学量敏感器件的结构和正在兴起的集成敏感器件；力学量敏感器件的典型应用等。收入“半导体敏感器件及其应用丛书”。