干涉仪基本光路

---

在几何量计量中，干涉仪的应用十分广泛。利用各种干涉仪可以测量长度、角度、表面粗糙度等。干涉仪分为接触式干涉仪和非接触式干涉仪。在目前使用的干涉比较仪中，基本上是采用迈克尔逊干涉的原理。

1．迈克尔逊干涉仪

迈克尔逊干涉仪的干涉原理如图3．4－17所示，M₁和M₂是两块平面反射镜，G₁和G₂是两块平行平面玻璃板，G₁、G₂的厚度及折射率完全一样。G₁为分光镜，G₂为补偿镜，在G₁的第2个表面g还镀有析光膜，使透过的光能和反射的光能大致相等。

图3．4－17 迈克尔逊干涉仪原理图

从光源S发出的光由分光镜分为两束，并分别被M₁和M₂反射。M₁可以沿着平行于光轴的精密导轨移动，M₂可以借助于微调螺钉调整其角度，精细地调整它们的相互位置，可形成平板式或楔形平板式干涉系统，分别形成同心环干涉条纹和平行条纹。

2．非接触式干涉仪光路原理

图3．4－18为非接触式干涉仪光路原理图。基本光路为迈克尔逊干涉仪原理。其中光源1是单色光源，采用的是镉光谱灯，有三条谱线。参考镜10相当于迈克尔逊干涉仪中的M₂，被测块规11，平晶工作台相当于M1。

1．光源 2．聚光镜 3．反射镜 4．狭缝光阑 5．光源调整旋 6．聚光镜 7．色散棱镜 8．补偿板 9．分光板 10．参考反射镜 11．被测块规 12．平晶工作 13．物镜 14．狭缝光阑 15．目镜

图3．4－18 非接触式干涉仪光路原理

【参考文献】：

［1］王因明主编，光学计量仪器设计，机械工业出版社，1982。

［2］薛实福、李庆祥编着，精密仪器设计，清华大学出版社，1991。

［3］叶声华主编，激光在精密计量中的应用，机械工业出版社，1980。

［4］罗南星主编，几何量计量技术简明教程，机械工业出版社，1993。

［5］角度计量编写组，角度计量，中国标准出版社，1984。

［6］童竞主编，几何量测量，机械工业出版社，1988。

［7］王江主编，现代计量测试技术，中国计量出版社，1990。

［8］蒋诚志编，计量光学，中国计量出版社，1989。

［9］梁铨廷主编，物理光学，机械工业出版社，1981。

［10］强锡富，于汶编，电路基础与电路量仪，哈尔滨工业大学出版社，1989。

［11］黑龙江省标准计量局、哈尔滨工业大学编，长度计量手册，科学出版社，1979。

［12］张国雄、沈生培主编，精密仪器电路，机械工业出版社，1987。

［13］几何量实用测试手册编委会，几何量实用测试手册，机械工业出版社，1985。