指对工序质量定期或专题的验证、抽查和考核工序中影响产品质量各种因素的变动情况，以便采取对策加以改进。其动因可能是常规的质量保证规定，也可能是基于用户申诉而临时安排的质量保证要求。工序质量审核的目的，在于考核各工序或工序中影响工序质量的各种因素是否处于受控状态。也就是要求生产过程必须按规定的标准(规程、规范)程序进行；随时监控质量动向，一旦发生“失控”，必须立即找出异常原因，把质量故障消除在发生之前；万一发生质量问题，能够及时发现，及时纠正，杜绝重复发生；产品质量具有可追查性。审核的内容是：
(1)生产所遵循的工艺文件是否完整、准确、统一。
(2)设有控制点的工序，应当审核其影响工序质量的主导性因素控制情况，是否进行了工序分析，其工序条件(如人、机、物、法、环境等)是否开展了条件管理；控制点控制手段、记录，和效果如何，是否有完善的控制点管理制度，控制点工序能力分析等。
(3)未设控制点的重要工序，一般进行工序、能力评价分析。
(4)用户反馈的不良项目，应进行专项的工序质量审核，以迅速查明原因，采取措施，向用户提供质量保证。