胡耀志

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【介绍】：

教授。

男，1937年6月出生，广东汕头人。华南理工大学无线电工程系等离子体与微细加工研究室主任。中国真空学会常务理事。清华大学毕业。

主要贡献：主要科研领域是真空与等离子体加工技术。主授课程有本科的“真空技术”和研究生课程“等离子体加工物理基础”、“微细加工物理基础”以及“固体电子学”。

科研成果全玻璃无油超高真空系统的研究，获1978年科学大会奖；罐头密封性能检测装置研究，获国家教委所颁1986年科技进步二等奖；氨检漏器的研究，获广东省科委所颁1980年三等奖；显象管慢漏快速测定的原理和方法，获广东省高教局所颁1980年三等奖；利用选择性原理校准微漏率标准漏孔，获广东省高教局所颁1983年科技成果奖；钛升华阱及升华器的研究，获广东省科技成果三等奖；等离子体辅助干法刻蚀研究，获华南理工大学所颁1992年科技进步三等奖。

主要著述：在国际会议和外国刊物上发表论文20多篇，主要有《微漏率测量和质谱应用》、《低真空钛升华阱的特性》、《真空电子学的新拓展——微细加工和材料改性》、《钛升华阱对CCL₄和C₂F₆的隔离特性》及《微波ECR等离子体诊断的新方法》等。

在国内刊物发表的有10多篇。