电子探针X射线显微分析法

X射线发射光谱分析方法之一。是一种微粒及微区成分的测试方法。以细电子束（探针）为激发源来进行X射线光谱分析的一种微区分析法。当电子束轰击试样后，试样中被撞击的微小区域内元素的原子，便被激发而产生特征X射线。通过测量各特征X射线的波长和强度，可以进行试样的定性和定量分析。此法可用于探测元素周期表中原子序数9—92号元素，也常用于地质、冶金、材料工业进行微区分析。灵敏度高，制样简单。