洁净室

对空气的温度、湿度、压力、特别是对含尘浓度有严格要求的密闭用室，称为洁净室。在电子工业、光学仪器和精密仪表制造工业中，要求清除空气中微小的尘粒以保证产品的质量。洁净室可按室内每升空气中粒径≥0.5μm的尘粒数来分级，表1为我国的分级标准。

级别	每升空气中≥0.5μm尘粒数
Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ	3 30 300 3,000 30,000	(3级) (30级) (300级) (3,000级) (30,000级)

洁净室类型 根据室内气流情况可分三种。
(1)紊流洁净室：工作区气流速度不均匀，有一定涡流区的洁净室称紊流洁净室，如图1所示。这种洁净室要求围护结构和材料不易产生尘粒，不积尘，容易清扫，并要防止送风所产生诱导作用将地面、墙角等处的尘粒卷入涡流造成二次扬尘。这种洁净室造价和维持费用较低。
(2) 层流洁净室：工作区气流呈层流流动的洁净室，称为层流洁净室，还可分为：
❶垂直层流洁净室。室内空气经过高效过滤后，从多孔顶棚垂直向下以层流状态吹向地面，沿途不形成涡流，保持室内高度洁净，一般断面风速为0.3～0.5m/s，换气次数每秒达5～10次，这种洁净室所需设备较大，投资较高。垂直层流洁净室如图2所示。
❷水平层流式洁净室。气流从室内一侧吹出，从相对的一侧排走。一般断面风速为0.5～0.8m/s，换气次数小于垂直层流式。其缺点是室内尘粒浓度在排气段可能高于进气段，故水平式洁净室比垂直式洁净室较少采用。
洁净室的辅助设备 (1) 风淋室：如图3所示，为了减少洁净室内的尘粒，工作人员在进入洁净室前，先经过

图1 紊流洁净室断面图

图2 垂直层流洁净室

图3 风淋室
A. 1.电源开关2.喷嘴3.电锁
B. 1.风淋室2.高效过滤器3.风机组4.密封室5.增压室6.电加热器7.喷嘴

风淋室的空气吹淋，利用高速洁净空气流吹去工作人员身上的尘粒。同时，风淋室还能起气闸作用，防止污染空气进入洁净室。
(2) 洁净工作台： 在洁净级别较低的洁净室内，可采用洁净工作台保证局部空间达到较高洁净度，洁净工作台的洁净空气以层流状态流过台面，迅速排走工作台面上的尘粒，并防止周围环境中的尘粒进入工作区。
(3) 自净器： 在某些洁净室中，由于送风方式的局限性，局部地方可能形成涡流区，达不到净化要求。此时，可以采用一种局部净化设备，或称自净器，将空气在工作区内反复循环处理达到净化要求。