T005798　半导体材料及其制备

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S．P．凯勒主编。

罗英浩等译。冶金工业出版社1986年11月版。105．4万字。共14章，4部分：晶体材料的性质、制备、表面和其他半导体材料。

第一部分3章，介绍半导体材料的非本征性质和晶锭材料所出现的缺陷特性。第二部分7章，介绍半导体材料的制备方法，涉及离子注入与晶体生长方法，后者包括晶锭生长、气相外延、溅射法晶体生长、固相外延和分子束外延。第三部分2章，介绍半导体的表面物理和有关技术，以及钝化和绝缘。第四部分3章，介绍与非晶态半导体、稀土磁性半导体和有机半导体的有关知识。