T005652 电子束扫描成像及微区分析
张铭诚等编著。 原子能出版社1987年5月版。87．3万字。 共20章，内容包括：电子与样品的相互作用，缩小系统电子光学，仪器的设计与操作，样品室与真空系统，图像信号的检测，图像的信号噪声比(SNR)，图像信号的处理，对比度机理，对比度与分辨率，散射电子与样品电流图像，电子通道花样，X射线检测，X射线光谱谱仪，探针定量分析校正理论，X射线能谱法(EDX)微区定性分析，X射线能谱法(EDX)微区定量分析，轻元素、超轻元素的分析，薄膜分析，制样，应用。配有各种插图和照片。 |