T002447　化学铣切

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[英]威廉·T．哈里斯著。

王鋆、朱永昌译。国防工业出版社1983年6月版。33．4万字。

分16章。

讲解化学铣切加工方法的发展历史，基本化学原理和工艺过程，加工方面的困难及加工质量的控制，检查防蚀层针孔和厚度的仪器，化学铣切加工对工件性能的影响，各种金属及其合金、硅片、塑料、玻璃等材料所用的腐蚀剂配方与防蚀层材料，加工规范，加工成本的估算和经济性分析，专用工艺装备，如样板、掩模和加工设备的设计，人员的技术培训，环境污染问题，未来的发展趋势等。书中还有珍贵实物照片。