O002283　半导体的检测与分析

---

中国科学院半导体研究所理化分析中心研究室编著。

科学出版社1984年5月版。54．3万字。共15章。内容包括半导体单晶定向、半导体晶体缺陷的全相观测、X射线形貌技术、离子束分析、离子探针分析、俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、电子探针、透射电子显微镜、半导体电学测量和光学测量、火花源质谱分析、原子吸收分光光度分析、高纯气体分析和高频电感耦合等离子体发射光谱。

本书收入“实验物理学丛书”。