中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

国家重点实验室。设在双流县350信箱中国科学院光电技术研究所。1989年开始筹建，1993年12月面向国内外开放。设短波激光学技术、准分子激光光刻技术、CAD科学计算与仿真、精密定位与对准、精密测试技术、微细加工工艺、激光直接写入光刻等7个实验室。固定研究人员16人，其中研究员、副研究员各3人，客座研究人员7人。有主要仪器设备110台 （套），其中具有90年代世界先进水平的设备和仪器有准分子激光器、Hp5528A激光测量系统、纳米级线宽测量仪和台阶测量仪、自动显影机、自动匀胶机、等离子刻蚀机、一批586高档微机及电子测试仪器、HeCd激光直接写入光刻系统等。主要研究微细加工光学技术及其在微电子和微光学中的应用，包括紫外和深紫外微细图形成像机理、高质量光刻镜头和照明均匀器、改善曝光分辨率的方法，准分子激光光刻技术、精密定位技术和光电自动对准原理和方法，以及微细加工光刻技术在微光学中的应用和衍射光学工艺技术及应用研究等。1991年～1995年共承担国家自然科学基金等项目21项。1991年以来有科研成果7项，获国家一等奖1项、省部级奖6项； 发表著作2部、论文101篇，其中国外21篇； 联合培养博士2人、硕士19人，在读博士生4人、硕士生5人。