此脂肪基取代的环聚硅氧烷可用作润滑剂和密封剂，它由含SiH的环聚硅氧烷中去除低沸点杂质，然后与具有脂肪族多键的化合物，于存在铂催化剂时进行硅烷水解反应，得脂肪基取代的环硅氧烷。
例如，100g1，3，5，7－四甲基环四硅氧烷(纯度为98%)，含0．6%1，1，3，5－四甲基环三硅氧烷、0．4%1，1，3，3，5－五甲基环三硅氧烷、0．6%1，3，5－三甲基环三硅氧烷，在50℃下加热5小时，把杂质减少到0．6%，再在80℃下与乙烯反应，得1，3，5，7－四甲基－1，3，5，7－四乙基环四硅氧烷。
(日本特许公开：07－316166)