高真空的获得

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50年代以来，由于尖端科学的兴起和生产技术的发展，对于低于10^－8乇(torr)的超高真空技术提出迫切的要求，目前已能获得10^－11～10^－13乇的超高真空。

真空泵(或抽气机)的性能一般用下列两个量来描述：(1)抽气速率，即单位时间内从被抽系统内抽出气体的体积；(2)极限真空度，即在封闭系统中所能达到的最高真空度。

真空泵的种类甚多，根据它的工作条件能在大气压下工作的称为前级泵；最常用的前级泵是机械泵。

需要在一定真空条件下才能工作的称为次级泵。

例如各种扩散泵。

人们还常利用吸气剂、低温装置等来改善真空泵的极限真空度。

由下图表示各种真空泵的压力范围和它们的极限真空度。