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字词 洁净室技术
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义 洁净室技术

使室内维持一定温度、湿度、静压和空气洁净度的技术。

其中空气洁净度以洁净级别表示,例如,“100级”洁净室指室内空气中≥0.5微米的粒子在0.304 8立方米(1立方英尺)空气中不超过100粒(3.5粒/升)。该技术的基本手段是以空气调节技术为基础,强化空气过滤设施(如使用对0.3微米粒子具有99.97%过滤效率的高效过滤器)等来实施的。

按控制对象可分为:(1)工业洁净室,用于微电子工业等,以控制尘粒为目标;(2)生物洁净室,如制药车间等,以控制微生物粒子为对象。按室内气流状态分有平行流洁净室和非平行流洁净室。

日常运行管理也是洁净室技术的重要环节。

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