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制造和使用微小型电子器件、元件和电路,实现电子系统功能的技术。
是随著集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术学科。微电子技术包括系统和电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试,以及封装、组装等一系列专门技术。
微电子技术是微电子学中各项工艺技术的总和。
微电子学研究的对象十分广泛,除各种集成电路(单片集成电路、薄膜电路、厚膜电路和混合集成电路)外,还包括集成磁泡、集成超导器件和集成光电子器件等。
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