真空度物理概念。空气稀薄的程度。在国际单位制中,真空度以压强单位帕(Pa)量度。由于历史原因,在真空技术领域中常以托(Torr,非许用)作真空度的单位。1Torr=133.3224Pa。目前实验上可以达到的真空度为760~10-14Torr。通常划分的真空范围:低真空760~1Torr(105~102Pa);中真空1~10-3Torr(102~10-1Pa);高真空10-3~10-7Torr(10-1~10-5Pa);超高真空10-7~10-11Torr(10-5~10-9Pa);极高真空10-11Torr以下(10-9Pa以下)。 真空度degree of exhaustion |