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字词	T005905　集成电路制造技术——原理与实践
类别	中英文字词句释义及详细解析
释义	T005905　集成电路制造技术——原理与实践庄同曾等编。电子工业出版社1987年10月版。118．4万字。分16章，内容包括：单晶生长与衬底制备；外延生长；热氧化；掺杂；化学气相淀积(CVD)；完美晶体器件工艺；掩模制造；光刻；接触与互连；CAD－工艺模拟和电路分析；微电子测试图形；组装技术；测试；集成电路的可靠性；理化分析；集成电路工业化生产的管理。书后还有常用技术数据的附录。
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