T000517　真空镀膜技术与设备

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李云奇主编。

东北工学院出版社1989年10月版，1992年版。45．0万字。共11章。第一章至第八章阐述各种真空镀膜技术的基本理论及工艺知识。

包括真空镀膜技术基础理论，真空蒸发镀膜，真空溅射镀膜，真空离子镀膜和束流沉积技术，化学气相沉积技术，真空离子注入技术，薄膜微细加工技术。后3章介绍真空镀膜设备若干构件的设计与计算，薄膜厚度的测量与监控，真空镀膜设备的安装与维护。