| 字词 | T000290 化学气相淀积与无机新材料 |
| 类别 | 中英文字词句释义及详细解析 |
| 释义 | T000290 化学气相淀积与无机新材料 孟广耀编著。 科学出版社1984年4月版。17万字。详细叙述化学气相淀积的基本原理和操作工艺，讨论淀积过程热力学、动力学、表面过程机理以及生长层质量与淀积参数的关系等问题。介绍了化学气相淀积法在新材料、新技术领域中的应用。 |
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