O001788 表面分析技术
陆家和等编著。 电子工业出版社1987年5月版。80万字。 全国高等学校工科电子类专业教材。系统、全面地介绍主要的几种表面分析技术。全书共13章：第一章综述表面科学与表面分析技术的发展，简单介绍表面分析方法和表面分析技术在微电子学、材料科学和催化方面的应用；第二至第四章介绍表面结构分析技术，其中包括X射线衍射、低能电子衍射和反射式高能电子衍射、场电子显微镜和场离子显微镜，第四章还附带介绍微区分析仪器用的场发射电子源和离子源；第五章介绍各种能谱仪的基本单元——能量分析器，对几种主要的能量分析器进行较详细的分析；第六至第八章描述分析表面成分和电子态的电子能谱仪，包括俄歇电子能谱、X射线光电子谱、紫外光电子谱；第九和第十章介绍离子谱仪，包括离子散射谱和次级离子质谱；第十一和第十二章描述研究表面原子态和电子态技术，包括离子中和谱和脱附谱、电子能量损失谱。在附录中介绍了用于分析仪器作微弱信号检测的锁定放大器和单粒子计数器。 |