QGK405型高精度光电圆刻线机重庆大学黄尚廉等研制。计量圆光栅是现代微电子技术精密测角和控制的重要基础元件之一。该机是刻画高精度计量圆光栅盘的工作母机。在国内同类机器首先应用环形光导纤维束莫尔条纹全接收系统、高精度空气静压轴系统、主轴转速自调系统等先进技术。装上检验附件和配上检测仪器可作其他高精度的动态测角之用。采用连续光刻对光栅盘(∅230mm, 3276线) 的刻画精度为直径全中误差L≤±0.10角秒，最大直径间隔误差X4<0.40角秒，达到国内外先进水平。获1985年四川省科技进步一等奖、1987年国家科技进步二等奖。 |