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氮化硅陶瓷
制法
将硅粉和CrF3·3H2O混合,压制成型,装入氮化炉中,通氮加热,于1150~1200℃预氮化,获得一定强度的坯体后,用机床加工成所需部件,然后在1350~1450℃下进一步氮化18~36h,直到全部生成Si3N4为止,得氮化硅陶瓷。
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