平面度测量

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1．平面度误差的评定准则

按最小包容区域评定平面度误差时，要求至少有三点或四点相接触，并符合三种准则之一：

第一、三角准则。出现三个最高点与一个最低点，而低点位于三个最高点连成的三角形区域内，或者相反。如图3．3－15(a)。

图3．3－15 最小包容区域评定平面度误差的三种准则

第二、交叉准则。出现两个最高点与两个最低点，且两最高点连线与最低点连线相交。如图3．3－15(b)。

第三、直线准则。只出现两个最高点和一个最低点，且最低点在两最高点的连线上，或者相反。如图3．3－15(c)。

2．平面度误差的测量方法

测量平面度误差时常用网格布线或对角线布线。其测量方法也可分为直接测量法和间接测量法。指示器法、光轴法、干涉法等属直接测量法；用水平仪、自准直仪、跨步仪和表桥测量等属间接测量法。

(1) 指示器法

将被测实际面通过指示器与测量基面(常用测量平板)相比较，并测出若干点的偏差值，进而确定平面度误差。适于中、小平面。

(2) 光轴法

该方法是以几何光轴建立测量基面，测出被测实际面上各选定点相对测量基面的偏离量，进而确定平面度误差。它适于较大平面。

(3) 干涉法

以光学平面的工作面作测量基面，利用光波干涉原理测得平面度误差。此法适于测量精研出的较小平面。

(4) 水平仪测量法

以水平面作测量基面，按一定的布线测量各条测线上相邻点的相对高度差，通过数据处理，换算出各点对同一水平面的高度差，按要求的评定准则求得平面度误差。该方法适用于大、中型平面的平面度误度测量。

(5) 自准直仪测量法

以光轴线作基线，按对角线布线，在被测平面的若干截面上测量直线度误差，通过坐标变换和数据处理得到被测面上各点对同一基面的高度坐标值，按要求的评定准则求得平面度误差。

【参考文献】：

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