集成光路
把光学元件以薄膜形式集成在同一衬底上所构成的完整光路。 它和集成电路相似，将微型的激光器、薄膜介质光波导、调制器、光开关、耦合器、薄膜透镜和棱镜等光学元件制作在一块很小的衬底上，构成具有较复杂的光学功能的光路。由于体积限制和制造工艺的原因，能用于集成光路的是半导体薄膜激光器。 集成光路的主要优点是体积小，性能稳定可靠，功耗低，效率高，使用方便。 工艺技术主要涉及成膜与光路微加工。当前已作出了对应于大块光学元件的各种微型薄膜元件，并且一些典型元件(如激光器、波导、探测器)的集成已经实现。集成光路可用于光纤通信、光纤传感器、光学信息处理、光计算机等大规模的、复杂的光学系统。 |