超纯水

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纯度极其接近理论纯度的水。

它无杂质、无带电离子、无细菌、电阻率在10兆欧姆·厘米以上，而一般自来水的电阻率约为0．005兆欧姆·厘米，25℃下理论纯水的电阻率为18·25兆欧姆·厘米。半导体工业、原子能发电、制药、精细化学等都严格要求水质。半导体工业对超纯水的要求最高，其电阻率在15兆欧姆·厘米以上。超纯水的生产关键在于净化装置，要经过多级处理，先处理普通水，再制成去离子水，其间还要结合使用离子交换、紫外线杀菌，逆渗透膜等水处理技木，最终制成超纯水。

超纯水生产系统中，逆渗透膜占有重要地位。膜技术的发展直接促进超纯水的生产。超纯水可以说是尖端技术发展的支柱，尤其是半导体技术的继续发展，将会对超纯水的纯度提出更高的要求。