超微细加工技术chaoweixi jiagong jishuultramicro-manufacturing technology

在加工尺寸很小的情况下（零件不一定很小）获得很高精度（百分之几至十分之几微米）的切除量或附加量的加工技术。超微细加工技术是超精密加工技术、特种加工技术与电子技术的结合。
超微细加工的特点是加工单位小和加工精度高。超微细加工的主要方法是：
❶利用微细工具进行加工。如微细钻头、微型铣刀和冲头等；
❷利用高能束加工。如离子溅射、电子束加工和激光加工等；
❸利用化学物理方法加工。如光刻、化学腐蚀或沉积和弹性发射加工等。
超微细加工可加工很小的零件，如φ60μm的零件，也可加工较大的零件，如硅片及一些功能性材料零件。主要用于大规模集成电路的制造和微机械电子元件的制造等。如在微细铣削加工中，先用金属放电磨削法加工出直径为φ50μm左右的微型铣刀，再用高转速的主轴(每分钟数十万转，空气轴承或磁力轴承)夹持小直径的铣刀(小至50μm)进行微型零件的铣削，可加工出槽宽为50μm的沟槽。微细钻削加工时，钻头最小直径可到0.012mm，像微细铣削一样，采用高速主轴夹持钻头进行加工。利用激光束或电子束可加工直径小至数微米甚至不到1μm的小孔。在刻线技术中，刻线宽度一般为0.01～0.02mm。用离子溅射可加工出用于空气动压轴承的数微米的高精度槽。利用准分子激光或X光可刻制亚微米级的线宽（如大规模集成电路的刻制）。在微机械零件制造中，利用电铸技术与三维刻蚀技术可加工出极微小的零件，如φ0.06mm、3000r/min的微型电动机的零件。此外，利用超微细加工技术还可制造流量为0.01ml的微型泵以及其他各种微型机械。