超大规模集成电路集成度达1万个门电路或集成元器件数在10万个元器件以上的集成电路。1978年研制成功第1块超大规模集成电路。一块超大规模集成电路可集成100万个电子元器件。这种集成电路可以使整个电子计算机的逻辑电路都集中在1个芯片上，体积不超过80 mm3。 超大规模集成电路集成度达1万门电路或集成元件数在10万以上的大规模集成电路。 超大规模集成电路 超大规模集成电路为了满足更快、更尖端的计算机的需要，必须在芯片里塞入更多的元件。要做出这些超精密的微电路，就必须使用计算机来设计芯片，也必须在生产线上使用计算机进行精确的生产控制。
这种把电子电路密集到更小面积内的工艺，称为超大规模集成，即VLSI——是目前计算机和远距离通讯革命的核心。当科学家们研制第五代计算机时，所要求的芯片比起目前所有的芯片都更为复杂。运算速度也快得多。
超大规模集成电路比大规模集成电路集成了更多的元件。目前，集成度已达几万个电路或几十万个元件以上。集成电路元件的尺寸每年都在减少，同时集成的程度都在成倍地增长。 ☚ 集成电路 半导体材料 ☛ 超大规模集成电路very large scale integrated circuit (VLSI) |