真空电子技术

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真空电子技术zhenkong dianzi jishuvacuum electronics technology

通过使电子在一个特殊的具有超高真空的装置中流动，把直流能量变成电磁能量，或将电信号转变成光学图像，或实现放大、整流、开关和指示作用，或使电子流向介质产生高能射线的技术。亦称真空电子器件技术。
真空电子技术是制造各种真空电子器件的技术基础。真空电子器件按工作原理分为微波真空电子器件、电子束器件、静电控制器件和伦琴器件等，如附图所示。

真空电子器件的类别

真空电子技术是一门多学科的综合技术，主要涉及阴极的设计制造，即阴极电子学技术；电子注成形与控制，即电子光学技术；高频系统的设计制造，即微波电子学技术；电子注聚焦方式磁路设计制造，即磁学技术；总体结构设计制造，即材料热力学技术；零件微米级加工，即精密加工技术；电气参数测量，即微波测量技术；金属与陶瓷封接技术；CAD技术和可靠性技术等。
真空电子器件在现代军用电子装备中占有十分重要的地位，是雷达、通信和电子对抗等军用电子装备的“心脏”，广泛用于航天、航空、舰艇、兵器和核试验用的各种军用电子装备中。在1991年的海湾战争中，交战双方发射雷达信号、发送通信信息和施放电子干扰信号的发射机中的90%采用真空微波器件。在这次高技术的电子战争中，真空电子技术发挥了十分重要的作用。真空电子技术还在空中与港口管制、电子系统、医疗、探伤、化工、石油和食品等民用领域中得到了广泛的应用。
真空电子技术是根据军用电子装备的需求逐步发展起来的。20世纪40年代诞生的磁控管在第二次世界大战中发挥了重要作用。50年代至60年代，又诞生了行波管和速调管。70年代，由于半导体器件的发展，取代了低频小功率的真空电子器件，但对高频率、宽频带和大功率领域内的真空电子器件尚无法代替。不仅原有器件的频率不断扩展，功率量级不断提高，还出现了许多新的原理和新的器件，如回旋管、相对论微波管、自由电子激光器和虚阴极器件等。中国真空电子技术的发展起始于20世纪50年代末。经过40多年的发展，在许多关键技术方面已取得了很大进步，积累了很多经验。
真空电子技术发展的趋势是向拓宽频带、提高功率、提高效率、小型化、组合化和高可靠方向发展；寻求新原理和新器件；把真空电子技术的原理与微细加工技术相结合，发展真空微电子技术。