上海半导体器件研究所

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半导体技术研究与开发研究的综合性研究单位。

成立于1974年。主要科研及中试生产部门有：制版技术研究室、理化分析及可靠性试验研究室、测试技术研究室、半导体器件中试生产车间和金加工车间。拥有用于大规模集成电路制版的25H_z图像发生器、分步重复照相机、计算机辅助设计系统和用于集成电路、半导体器件解剖分析、失效分析的扫描电镜等国内先进设备，藏有专业书刊12000多册。

为上海大规模集成电路制版中心，理化分析、可靠性试验中心。

全国第一块8080CPU8位微处理器，即为该所研制。地址：胶州路397号，电话565869。