T005958　微电子生产工艺实用手册

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王家源、刘长恩编。

电子工业出版社1992年2月版。36万字。主要取材于美国大湖出版社出版的MMT(Microelectronic Manufacturing and Testing)增刊“Desk Manua”(1986－1990年号)，共收入微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原材料、辅助材料、工具及零部件等方面的词条900余条。在词条选择上，力求收集80年代末世界微电子行业工艺技术术语；在词条的诠释上著眼于实用化，力求从工艺生产的角度对工艺、技术、仪器、设备作中肯的评价，而不刻意追求科学意义的严格化。

书中以汉字为首的词条，以词条第一个字的汉语拼音排序；以外文字母为首的词条，以外文字母排序。并给出了词条的汉－英和英－汉索引。