T005932　微细加工技术

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蒋欣荣编。

电子工业出版社1990年6月版。35万字。

系统地介绍利用电子束、离子束、光子束(包括激光束、紫外线、远紫外线、X射线)、原子束、分子束、等离子体、超声、微波、化学和电化学等手段，对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性，以及切割、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程；同时还介绍这些微细加工技术在大规模和超大规模集成电路、太阳电池、集成光路、分子电路、超导器件、声表面波器件、各种光电器件和医用传感器，以及其他高精度电子零件和精密机械零件等领域的广泛应用。系高等学校工科电子类专业全国统编教材。章末附有习题。