T005915　超大规模集成物理学导论

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童勤义著。

电子工业出版社1988年5月版。31万字。

共6章。第一章超大规模集成(VLSI)导论，介绍集成电路技术的发展规律、集成电路制备工艺的进展情况，指出系统集成和整片集成是集成电路技术发展的必然趋势及其所面临的新课题。第二章从理论上深入讨论和分析推动集成电路向超大规模集成电路发展的主要理论基础——按比例缩小的基本理论(即CE理论)及其局限性、按比例缩小的CV理论及其局限性、按比例缩小的2CV理论及器件设计最佳化。第三章分析超大规模集成电路的极限，包括基本理论、器件、材料、电路和系统的限制。

第四章论述CMOS电路的物理模型、静态CMOS电路的极限以及动态CMOS电路极限等CMOS超大规模集成物理。第五章描述小尺寸双极型器件的物理模型以及按比例缩小的双极型电路的分析。第六章讨论小尺寸MOS器件的数值模型及其应用。