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字词 T005849 外延生长技术
类别 中英文字词句释义及详细解析
释义 T005849 外延生长技术

杨树人等编著。

国防工业出版社1992年7月版。40.5万字。介绍半导体外延生长技术。共12章。

基本内容是:外延生长概述,衬底的制备,气相外延生长,硅气相外延生长,硅气相外延的发展,砷化镓气相外延生长,金属有机化合物气相外延生长,液气相外延生长,固相外延生长,分子束外延生长,其他外延生长技术,异质外延生长技术。

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